Performance

• Capacity 182mm≥16000 wafer/h，182×182（12 channels）；210mm≥12500 wafer/h，210×210（10 channels）
• Transmission speed: 1.0-5.5 m/min;
• Operating speed: 5.0m/min;
• Breakage rate < 0.5‰;
• Uptime ≥98﹪；

Parameter

Cleaning process: Water film→Acidic→Rinse→DRY